中国徽商网

在上海临港新片区18万平方米的中微产业园里，一台台刻蚀设备正沿着自动化流水线缓缓移动，它们将被运往全球各地的芯片工厂，参与5纳米乃至更先进制程芯片的制造。

2941项专利申请、83%的发明专利占比……中微半导体设备（上海）股份有限公司（下文简称“中微公司”）董事会披露的一组组数据，印证着这家企业的创新底气。

21年前，中微公司创始人尹志尧手握200多项专利、身居美国半导体头部企业副总裁高位，却在60岁的人生节点毅然归国，在一片空白的中国高端半导体设备领域埋下种子。

如今，中微公司已成长为全球刻蚀设备市场的关键力量——其2024年年报数据显示，该年度公司营收突破90亿元，同比增长44.7%。这是在过去13年保持营业收入年均增长大于35%、近四年营业收入年均增长大于40%的基础上，首次达到的新高度。其中，占营业收入75%以上的刻蚀设备近五年营业收入年均增速更是超过50%。

截至今年6月底，该公司累计已有超 6800 台等离子体刻蚀和化学薄膜设备的反应台，在国内外155条生产线实现量产和大规模重复性销售，深度融入全球半导体产业链。

从“空手归”到“顶梁柱”，作为中微半导体设备（上海）股份有限公司董事长兼总经理的尹志尧，用半生积累与一世坚守证明：核心技术买不来、讨不来，唯有自主创新才能在全球产业格局中站稳脚跟。

硅谷精英的“反向迁徙”

2004年，尹志尧的人生正处于旁人艳羡的巅峰。

彼时，这位获得中国科学技术大学化学物理系学士、北京大学化学系硕士、美国加州大学洛杉矶分校物理化学博士学位的科学家，已在美国英特尔公司（Intel）、泛林科技公司（Lam Research）、应用材料公司（Applied Materials）等国际大厂深耕20年，从普通工程师一路做到技术总经理，手中的专利证书堆成了小山。在应用材料公司，由他主导的刻蚀技术研发让芯片制程不断突破，自己也凭借百万美元年薪、手握可观的股票期权，成为公认的“硅谷最有成就的华人之一”。

改变命运轨迹的，是与北京四中校友江上舟的一次偶遇。

在一次国际半导体设备展上，尹志尧遇见了时任上海市经济委员会副主任的江上舟。二者谈到刻蚀机在中国发展的境遇时，尹志尧认为，国家多年来在刻蚀机工艺上一直受制于人，无法自发研制出属于自己的刻蚀机设备。江上舟当即表示，希望尹志尧能回国，与自己一起为国填补这项技术的空白。

面对江上舟的邀请，尹志尧不是没有犹豫。用他的原话来说：“创业就是走上了一条不归路，对于我这个创业时年已六旬的人来说，很可能累死在工作的岗位上。”

那段时间，尹志尧常站在自家阳台上眺望东方。他想起远在安徽的祖父尹寿松、父亲尹怀莘，都曾在赴日留学后选择回国，为国家建设和民族工商业发展做出贡献；也想起在美国企业里，看到华人工程师即便撑起了研发半壁江山，也始终难以触及核心决策层的困境。

尹志尧作为中国人的血脉觉醒了，他决定回国。

这个决定在硅谷掀起轩然大波。应用材料公司高管多次登门挽留，提出升职加薪、赠送更多股票的优厚条件。美国相关部门也出面干预，试图以“技术保密”为由限制他离境。尹志尧早已料到这些阻碍，他做出了一个惊人的举动：将所有技术文件、电子资料全部上交公司，连工作笔记都未带走一页，真正做到“空手归国”。

更让美国人始料未及的是，15位跟随尹志尧多年的资深华裔科学家，也放弃了硅谷的优渥生活，陆续踏上回国之路。2004年深秋，尹志尧带着这支“技术远征军”抵达上海，创立了中微公司，目标是立足于中国，面向国际市场，开发一系列高端微观加工设备。

创业初期的艰难远超想象。没有核心技术积累，没有成熟供应链，甚至连合适的研发设备都买不到。

“这个领域无论是技术还是资金门槛都很高，国际上有非常强大的对手，中微公司用什么跟他们竞争？”面对“第一财经”的“浦东30年·财经30人”栏目主持人的提问，尹志尧坦陈，“我们必须把目标定在赶超世界最先进水平，而不是补自己的短板再按照人家的路往前走。这样的话永远是落在后面。”

中微公司必须选择走这样两条路：一条是创新；另一条是差异化，就是设备产品要与众不同。

在专利丛林中独行

刻蚀机，被称为“芯片雕刻刀”，是芯片制造中最关键的设备之一。在指甲盖大小的硅片上刻出数十亿个晶体管，精度需要达到纳米级别，难度好比在头发丝上刻出万里长城。2004年，全球能制造高端刻蚀机的企业只有4家，大多集中在欧美，他们对中国实行严格的技术封锁。

尹志尧团队的第一个目标，是研发用于65纳米制程的刻蚀设备。研发过程中最大的挑战是如何避开国际头部企业的上千项专利壁垒。这在当时被业内视为“不可能完成的任务”。

2007年，回国仅三年的中微团队研发出第一代介质刻蚀机，在业内首次采用可单台独立操作的双反应台，效率比国外同类产品高出30%以上。在中国的土地上，第一次能够生产这样高端的半导体设备。

成功的喜悦尚未散去，两场突如其来的官司让中微公司陷入危机。2008年，尹志尧的老东家泛林科技公司和应用材料公司相继提起诉讼，指控中微公司侵犯其专利权，要求停止生产并赔偿巨额损失。一时间，舆论哗然，不少人认为中微公司难逃败诉命运。

庭审现场，尹志尧展现出惊人的专业素养和战略远见。他带领律师团队逐一拆解对方的诉讼理由，用翔实的研发日志、实验数据证明，中微公司的技术路线与国际其他企业完全不同。

更为关键的是，尹志尧早有准备。从创业第一天起，他就要求团队“不碰任何美国技术”，所有研发过程都有完整记录，每一项创新都及时申请专利。法庭上，中微公司提交的100多项自主专利证书成为最有力的证据。最终，泛林科技公司因证据不足撤诉，应用材料公司与中微公司达成和解。这场耗时两年的专利战，不仅让中微公司赢得了尊重，更证明了自主创新的力量。

这场胜利成为中微公司发展的转折点。2011年，中微公司研发出45纳米刻蚀机；2013年，突破28纳米技术；2018年，成功研制出5纳米刻蚀机，成为全球少数掌握这一技术的企业之一。随着技术不断突破，中微公司的市场份额也稳步提升，不仅打入中芯国际、华虹半导体等国内龙头企业，还成功进入台积电、三星等国际公司的供应链。

纵观中微公司的20余年，尹志尧始终把研发创新放在首位。2024年，中微公司的研发投入达到24.5亿元，占营业收入的27%，远高于科创板平均水平。在他的推动下，中微公司建立了独特的“快速迭代”研发模式，将新产品开发周期从三到五年缩短至两年甚至更短。截至2025年3月，该公司累计申请专利2941项，其中发明专利2443项，尹志尧个人拥有的专利数也突破400项。这种持续的创新能力，让中微公司四次荣登福布斯中国创新力企业50强榜单，成为半导体行业的创新标杆。

在研发管理上，尹志尧既借鉴了硅谷的经验，又融入了自己的理念。他推行“全员持股”制度，让每一位员工都成为公司的主人。如今，中微公司市值超千亿元，尹志尧作为创始人仅持股0.7%。

但他毫不在意，“半导体是集体智慧的结晶，成果应该由团队共享。”这种“共同劳动，共同富裕”的理念，让中微公司凝聚了一大批顶尖人才，人均销售额在2024年突破400万元，达到国际先进水平。

耐力与定力

2025年5月，在中微公司2024年度暨2025年第一季度业绩说明会上，81岁的尹志尧精神矍铄地站在演讲台上，用清晰的逻辑和精准的数据，向投资者介绍公司的最新进展：临港基地年生产总值达85亿元，南昌基地达61亿元；在研项目涵盖六大类20余款新设备；先进封装、泛半导体等领域布局成效显著……

台下响起经久不息的掌声，这掌声不仅为亮眼的业绩，更为这位耄耋老人的坚守与执着。

尹志尧的坚守，源于对半导体产业的深刻理解。他常说，“半导体设备行业没有捷径可走，需要十年磨一剑的耐心和毅力。”在其带领下，中微公司始终保持着战略定力，不追逐短期利益，专注于核心技术突破。当市场热衷于低端设备组装时，中微公司坚持攻坚高端刻蚀机；当资本追捧热门概念时，中微公司把更多资金投入研发。这种定力，让中微公司在风云变幻的市场中始终保持领先。

更难得的是，尹志尧始终秉持开放的心态。尽管坚持“去美化”路线，但他从不排斥国际合作。中微公司的设备出口到全球多个国家和地区，与国际客户保持着密切的技术交流。“自主创新不是闭门造车，而是在掌握核心技术的基础上，积极融入全球产业链。”尹志尧的理念，让中微公司在国际市场上赢得了广泛尊重。在全球半导体设备客户满意度调查中，中微公司连续四年总评分第三，薄膜设备四次获评第一。

对于行业的未来，尹志尧有着清晰的规划。他带领中微公司不断拓展产品线，从刻蚀设备延伸到薄膜设备、外延设备、电子束量检测设备等，形成全面的解决方案能力。在泛半导体领域，中微公司的MOCVD（金属有机化学气相沉积）设备在MiniLED（次毫米发光二极管）领域市场占有率遥遥领先，碳化硅功率器件设备也取得重大突破。2023年底，中微公司又启动了大平板设备的研发，全力填补国内空白。

“半导体产业是一场持久战，需要一代又一代人的努力。”尹志尧非常重视人才培养，他在公司内部设立“青年创新基金”，鼓励年轻工程师大胆尝试；与高校合作建立联合实验室，培养半导体专业人才；亲自为新人授课，分享自己的研发经验和人生感悟。如今，中微公司的核心研发团队平均年龄只有35岁，一批年轻的技术骨干已经成长起来，接过了创新的接力棒。

回望21年的创业历程，尹志尧感慨万千。从60岁归国时的“一身孤勇”，到如今带领中微公司成为全球半导体设备领域的重要力量，他用行动诠释了“科学家精神”与“企业家担当”。有人说他是“破壁者”，打破了国际技术垄断；有人说他是“拓荒人”，开辟了中国高端半导体设备的新道路；而尹志尧更喜欢称自己为“守夜人”，为中国半导体产业的发展守护着一盏明灯。

如今，81岁的尹志尧依然在岗位上冲锋。他说自己还有两个愿望：一是看到中微公司成为全球半导体设备行业的领导者；二是看到中国半导体产业真正实现自主可控。这两个愿望，承载着一位老科学家对祖国的深情，更指引着中微公司未来的方向。

参考资料：

1.南风窗：《中国芯片的孤胆英雄们》

2.上财商学评论：《花甲再创业，只为不再“芯”痛》

3.杨澜访谈录：《逐风者》

4.福布斯：《中微公司尹志尧：跨越周期的攀登者》